掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀(guān)察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品, 通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用, 來(lái)激發(fā)各種物理信息, 對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀(guān)形貌表征的目的。
成像原理：
掃描電鏡的成像是靠掃描作用實(shí)現的。掃描發(fā)生器同時(shí)控制高能電子束和熒光屏中的電子束“同步掃描”，當電子束在樣品上進(jìn)行柵格掃描時(shí)，在熒光屏上也以相同的方式同步掃描，因此“樣品空間”上的一系列點(diǎn)就與“顯示空間”逐點(diǎn)對應。換言之，樣品上電子束的各個(gè)位置與熒光屏上的各點(diǎn)確立了嚴格的對應關(guān)系。樣品表面被電子束掃描，激發(fā)出各種物理信號，其強度與樣品的表面特征有關(guān)，這些信號通過(guò)探測器按順序、成比例地轉為視頻信號，經(jīng)過(guò)放大，用來(lái)調制熒光屏對應點(diǎn)的電子束強度，即光點(diǎn)的亮度，這就形成了掃描電鏡的圖像。而圖像上強度的變化反映出樣品的特性。掃描電鏡成像雖然不同光鏡和透射電鏡那樣直接由物體發(fā)出的光線(xiàn)或電子束成像，這種成像過(guò)程如同利用信號探測器作為攝像機，對樣品表面逐點(diǎn)拍攝，把各點(diǎn)產(chǎn)生的信號轉換到熒光屏上成像。
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